M-320XG ANELVA安內華真空計
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有關工業(yè)機器配件的內容： 壓力控制儀可在手動和自動兩種工況下運行。當開關S打到手動位置時，壓力控制儀相當于一個手動微調真空閥，進行手動壓力調節(jié)；當開關S打到自動位置時，壓力控制儀構成一個閉環(huán)的自動控制系統，可實現壓力定值自動調節(jié)其調節(jié)過程是：首先由給定單元設定希望控制的壓力值，根據具體的被控對象的特性，選擇好PID調節(jié)單元的比例度艿、積分時間Ti、微分時間Td等參數，當真空測量單元輸出一個表征被控真空裝置真空室壓力高低的電壓信號時，壓力節(jié)單元可將壓力設定值與壓力測量值進行比較，并將差值進行運算（例如P、PI、PID）；然后通過驅動電路，驅動真空調節(jié)閥，改變進入真空室的氣體流量，從而使真空室內的壓力維持在給定值上。當然，這是理想的控制狀態(tài)，實際上，由于壓力控制儀的壓力調節(jié)單元的特性所致，被控壓力只能是趨近于給定壓力值，并與給定壓力值保持允許的偏差范圍內。這個偏差值的大小，即表示壓力控制儀壓力控制精度的高低。
真空氣體流量調節(jié)元件
從原理上講，一般手動真空調節(jié)閥，配上適當的控制電機（如伺服電機、步進電機等）或液壓缸，通過調節(jié)控制電機或液壓缸的控制信號，使控制電機或液壓缸動作，從而改變真空閥的流導，于是改變了流過真空閥的氣體流量，完成在真空裝置中真空室的真空度的自動調節(jié)。但是，目茼我國真空儀器廠家生產的真空氣體流量調節(jié)閥僅有電磁調節(jié)式、質量流量計式及壓電式三種，而國產壓力控制儀多選用壓電閥作為真空氣體流量調節(jié)元件。
壓電閥是利用壓電效應制成的一種真空氣體流量調節(jié)閥。壓電閥的核心部件是由壓電陶瓷制成的具有壓電特性的膜片。當在壓電陶瓷膜片上施加一控制電壓時，它將會產生正比于外加電壓值大小的變形。同時，帶動密封墊移動。于是壓電閥流導產生變化，從而改變氣體通過壓電閥的流量。當壓電陶瓷膜片上未施加控制電壓時，由于彈簧的機械力作用在壓電陶瓷膜片和密封墊上，使壓電閥氣路關閉。因而，可以通過改變施加在壓電陶瓷膜片上的控制電壓的大小，來改變壓電閥的流導，從而改變流過壓電閥的氣體流量。于是，可實現真空裝置的真空室中的真空度調節(jié)。
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資訊來源：汕頭羅克自動化
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