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【M-320XG】ANELVA渠道商介紹,PVD（Physical Vapor Deposition）技術(shù)，其實是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一。用于制備薄膜材料的物質(zhì)被稱為PVD鍍膜材料。經(jīng)過多年發(fā)展，PVD 鍍膜技術(shù)被廣泛用于應(yīng)用于電子、光學(xué)、機(jī)械、建筑、材料等領(lǐng)域。

PVD基本方法包括真空蒸發(fā)、濺射、離子鍍，其中，濺射鍍膜和真空蒸發(fā)鍍膜是最主流的兩種PVD鍍膜方式。

濺射鍍膜

濺射鍍膜是指在真空室中，利用荷能粒子轟擊靶材表面，通過粒子動量傳遞打出靶材中的原子及其它粒子，并使其沉淀在基體上形成薄膜的技術(shù)。濺射鍍膜技術(shù)具有可實現(xiàn)大面積快速沉積，薄膜與基體結(jié)合力好，濺射密度高，膜層可控性和重復(fù)性好等優(yōu)點，而且任何物質(zhì)都可以進(jìn)行濺射，因而近年來發(fā)展迅速，應(yīng)用廣泛。濺射靶材廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片、平面顯示器、太陽能電池、信息存儲、工具改性、電子器件等領(lǐng)域。

濺射靶材制造所涉及的工序精細(xì)且繁多，工序流程管理及制造工藝水平將直接影響到濺射靶材的質(zhì)量和良品率。此環(huán)節(jié)是在濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈條中對生產(chǎn)設(shè)備及技術(shù)工藝要求**的環(huán)節(jié)，濺射薄膜的品質(zhì)對下游產(chǎn)品的質(zhì)量具有重要影響。

在濺射鍍膜過程中，濺射靶材需要安裝在機(jī)臺中完成濺射反應(yīng)，濺射機(jī)臺專用性強(qiáng)、精密度高，市場長期被美國、日本跨國集團(tuán)壟斷，主要設(shè)備提供商包括AMAT（美國）、ULVAC（日本）、ANELVA（日本）、Varian（美國）、ULVAC（日本）等行業(yè)內(nèi)知名企業(yè)。

真空蒸發(fā)鍍膜和蒸鍍材料

真空蒸發(fā)鍍膜是指在真空條件下，通過蒸發(fā)源加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在基板材料表面來獲得薄膜的一種技術(shù)，被蒸發(fā)的物質(zhì)被稱為蒸鍍材料。

真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)，也是應(yīng)用廣泛的鍍膜技術(shù)，主要應(yīng)用于光學(xué)元器件、LED、平板顯示和半導(dǎo)體分立器的鍍膜。

兩相比較

蒸發(fā)鍍膜簡單便利、操作方便、成膜速度快。從工藝制造角度上來看，蒸鍍材料的制造復(fù)雜度要遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于濺射靶材，但蒸發(fā)鍍膜常用于小尺寸基板材料的鍍膜。

濺射鍍膜工藝可重復(fù)性好、膜厚可控制，可在大面積基板材料上獲得厚度均勻的薄膜，所制備的薄膜具有純度高、致密性好、與基板材料的結(jié)合力強(qiáng)等優(yōu)點。

市場對濺射靶材這一具有高附加值的功能材料需求逐年增加，濺射靶材亦已成為目前市場應(yīng)用量**的PVD鍍膜材料。

美、日壟斷，**崛起

高純?yōu)R射靶材是伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展而興起的，屬于典型的技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)，產(chǎn)品技術(shù)含量高，研發(fā)生產(chǎn)設(shè)備專用性強(qiáng)。美國、日本的半導(dǎo)體工業(yè)相繼催生了一批高純?yōu)R射靶材生產(chǎn)廠商，如日礦金屬、霍尼韋爾、東曹、普萊克斯、住友化學(xué)，并于當(dāng)前居于全球市場的主導(dǎo)地位。

大陸OLED 產(chǎn)線如雨后春筍，蒸鍍設(shè)備一機(jī)難求OLED（有機(jī)發(fā)光二極管）顯示技術(shù)具有自發(fā)光、廣視角、幾乎無窮高的對比度、較低耗電、極高反應(yīng)速度等優(yōu)點，因此被廣泛應(yīng)用于手機(jī)、數(shù)碼攝像機(jī)、筆記本電腦、電視等。

三星是最早**手機(jī)OLED顯示屏發(fā)展的企業(yè)，國內(nèi)廠商如京東方、和輝光電、華星光電、信利以及深天馬等企業(yè)紛紛加速 OLED 技術(shù)研發(fā)，布局 OLED 產(chǎn)線。

Sunic OLED 蒸鍍設(shè)備

OLED 工藝技術(shù)壁壘極高，關(guān)鍵設(shè)備幾乎被日本、韓國和美國所壟斷，且設(shè)備價格昂貴，目前市場上企業(yè)格局為“一超多強(qiáng)”。

由于穩(wěn)定量產(chǎn)與技術(shù)成熟方面的優(yōu)勢，目前全球蒸鍍機(jī)生產(chǎn)幾乎被日本Canon Tokki壟斷。對于國內(nèi)很多 OLED 產(chǎn)線來說，蒸鍍設(shè)備真的是“一機(jī)難求”。

目前，Canon Tokki一年生產(chǎn)出的7臺蒸鍍機(jī)中，有5臺給了三星，LGD和京東方各占一臺，Canon Tokki也在積極擴(kuò)充產(chǎn)線。

日本的ULVAC，韓國的SFA和SNU緊追不舍，雖然與Canon Tokki這種壟斷巨頭相比還有不小的差距，但是也在大力研發(fā)，積極創(chuàng)新。



資訊來源：汕頭羅克自動化