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爪型干式真空泵
1概述
爪型干式真空泵利用連接在兩軸上的成對(duì)的爪型轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)壁之間以及轉(zhuǎn)子與隔板之間進(jìn)行有間隙、無摩擦的嚙合所形成的密閉腔的容積大小變化來完成吸排氣過程。
2結(jié)構(gòu)
爪型干式真空泵的結(jié)構(gòu)，一般采用多級(jí)轉(zhuǎn)子串聯(lián)，或羅茨轉(zhuǎn)子與多級(jí)轉(zhuǎn)子串聯(lián)的形式，組成多級(jí)爪型干式真空泵。
如圖所示，四級(jí)泵腔依次串聯(lián)，每級(jí)泵腔內(nèi)各有一對(duì)共軛嚙合，做同步反向運(yùn)動(dòng)的爪型轉(zhuǎn)子。
四級(jí)泵腔中的**級(jí)泵腔為吸氣級(jí)，其吸氣容積比后面三級(jí)大，形成級(jí)間壓縮。
四對(duì)轉(zhuǎn)子裝在二根平行軸上，軸由上下兩端軸承支撐，泵腔級(jí)與級(jí)之間有隔板，隔板上有吸排氣通道。
電動(dòng)機(jī)倒立安裝，經(jīng)過渡齒輪將動(dòng)力傳遞到轉(zhuǎn)子軸上，轉(zhuǎn)子軸由一對(duì)同步時(shí)限齒輪帶動(dòng)及調(diào)整和固定轉(zhuǎn)子的相位。
轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)部留有微小縫隙，轉(zhuǎn)子懸浮于泵腔使得過流部分無任何實(shí)質(zhì)性接觸摩擦，也不需要潤滑，這就保證了爪泵可以長期穩(wěn)定保持極限真空、抽速、壓縮比不變，壽命長。
3特點(diǎn)
泵腔內(nèi)不含油類等任何介質(zhì)、清潔抽空，對(duì)環(huán)境無污染。
真空度高，可達(dá)3Pa。
結(jié)構(gòu)簡單，易于操作和維護(hù)，運(yùn)行成本低。
能在較高壓力下長期連續(xù)工作，噪聲小。
能抽除腐蝕性氣體、有毒氣體、易燃易爆氣體、放射性氣體、含有塵埃 的氣體和可凝性氣體（例如水蒸氣、有機(jī)氣體等）。
能做氣體傳輸泵使用，壓縮比良好，可達(dá)10-105。
轉(zhuǎn)子對(duì)懸浮在泵腔內(nèi)，轉(zhuǎn)子對(duì)間，轉(zhuǎn)子與泵腔間不接觸，無摩擦，使用 壽命長。
4應(yīng)用
石化行業(yè)：
能抽除酸性氣體:如四氫呋喃等。
能抽除可凝性氣體：如酒精、汽油等。
能抽除易燃易爆氣體：如氧氣、氫氣、甲烷等。
醫(yī)藥行業(yè)：結(jié)晶、蒸餾、升華、干燥、脫臭、聚合、真空蒸發(fā)、負(fù)壓過濾、單體回收、吸附/脫附、物料輸送腐、蝕性介質(zhì)、環(huán)氧乙烷**等。
食品行業(yè)：升華、干燥、脫水、真空蒸發(fā)、真空保鮮、真空包裝等。
科研院所：旋蒸、蒸餾、精餾、聚合、負(fù)壓抽濾、真空干燥、中試裝置、風(fēng)洞試驗(yàn)、真空環(huán)境模擬等。
電子光伏：浸漬、真空鍍膜、離子刻蝕、分子束外延等。
航天航空：釬焊、真空鍍膜、電子束焊、風(fēng)洞試驗(yàn)、空間環(huán)境模擬等。
冶金行業(yè)：浸漬、擠出、真空鍍膜、離子刻蝕、泥料脫氣、鋼水脫氣、分子束外延等。
核工業(yè)：零泄露爪泵可抽除UF6氣體
其它行業(yè)：中央空調(diào)、室內(nèi)真空、污水處理、鋰電池制造等。
資訊來源：汕頭羅克自動(dòng)化
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