微納結(jié)構(gòu)加工技術(shù)特點_蘇州微納代工廠家 |
微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類�！白陨隙隆笔菑暮暧^對象出發(fā)，以光刻工藝為基礎(chǔ)，(深硅刻蝕)對材料或原料進(jìn)行加工，最小結(jié)果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定�！白韵露稀奔夹g(shù)則是從微觀世界出發(fā)，通過控制原子、分子和其他納米對象的相互作用力將各種單元構(gòu)建在一起，形成微納結(jié)構(gòu)與器件。
基于光刻工藝的微納加工技術(shù)主要包含以下過程：掩模（mask）制備、圖形形成及轉(zhuǎn)移（涂膠、曝光、顯影）、薄膜沉積、刻蝕、外延生長、氧化和摻雜等。
在基片表面涂覆一層某種光敏介質(zhì)的薄膜（抗蝕膠），曝光系統(tǒng)把掩模板的圖形投射在（抗蝕膠）薄膜上，光（光子）的曝光過程是通過光化學(xué)作用使抗蝕膠發(fā)生光化學(xué)作用，形成微細(xì)圖形的潛像，再通過顯影過程使剩余的抗蝕膠層轉(zhuǎn)變成具有微細(xì)圖形的窗口，后續(xù)基于抗蝕膠圖案進(jìn)行鍍膜、刻蝕等可進(jìn)一步制作所需微納結(jié)構(gòu)或器件。
微納結(jié)構(gòu)加工技術(shù)有如下幾個特點_蘇州微納代工廠家小編來為大家娓娓道來：
1.微納加工技術(shù)是—個多學(xué)科的制造系統(tǒng)工程
它不是孤立的加工方法和單純的工藝過程，它涉及超微最分離、結(jié)合技術(shù)、高質(zhì)量的材料、高穩(wěn)定性和高凈化的加工環(huán)境、高精度的量測試技術(shù)以及高可靠性的工況監(jiān)控和質(zhì)量控制等。
2.微納加工技術(shù)是一門多學(xué)科的綜合高新技術(shù)
微納結(jié)構(gòu)加工技術(shù)的涉及面極廣，其加工方法包括分離、結(jié)合、變形三大類、遍及傳統(tǒng)加工工藝和非傳統(tǒng)加工工藝。
3.微納結(jié)構(gòu)加工技術(shù)的加工基礎(chǔ)是平面工藝
平面工藝是制作半導(dǎo)體基片、電子元件和電子線路及其連線、封裝一整套制造工藝技術(shù)，它主要同繞集成電路的制作，現(xiàn)在已在發(fā)展立體工藝技術(shù)。
4.微納結(jié)構(gòu)加工技術(shù)與自動化技術(shù)聯(lián)系緊密
為保證加工質(zhì)量及其穩(wěn)定性．必須采用自動化技術(shù)來進(jìn)行加工。
5.微納結(jié)構(gòu)加工投術(shù)檢測—體化
微納加工過程中在位檢測和在線檢測的檢驗、測試手段必須要與之相匹配。
編輯：MEMS加工 www.szjtnano.com
資訊來源：微納代工
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