復(fù)合磨料拋光液
CMP化學(xué)機(jī)械拋光液產(chǎn)品除了混合磨料外，也有利用各種新興材料制備復(fù)合磨料，常用的方法有納米粒子包覆和摻雜等。如通過結(jié)構(gòu)修飾改善納米粒子的分散性、復(fù)合其他類型材料提升在酸、堿性拋光液中的綜合性能等。
復(fù)合磨料拋光液相比混合磨料和單一磨料，在材料去除率及表面粗糙度方面均有明顯的優(yōu)勢，能實(shí)現(xiàn)納米級或亞納米級超低損傷的表面形貌，主要適用制備成半導(dǎo)體拋光液。但復(fù)合磨料的制備工藝相對比較復(fù)雜，目前僅處于實(shí)驗(yàn)室探索階段，距離復(fù)合磨料在大規(guī)模生產(chǎn)上的應(yīng)用還有較遠(yuǎn)的距離。
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2023中國標(biāo)簽技術(shù)展-華南標(biāo)簽展
主辦單位
中國對外貿(mào)易中心集團(tuán)
雅式展覽服務(wù)有限公司
展會時(shí)間2023年3月2-4日
展會地點(diǎn)琶洲國際會展中心A區(qū)
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2023第二十九屆華南國際印刷工業(yè)展覽會
展會時(shí)間2023年3月2-4日
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