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微細(xì)特種加工工藝
微細(xì)特種加工工藝主要包括微細(xì)電火花加工、微細(xì)束加工、光刻加工等。微細(xì)電火花加工的原理同普通電火花加工并無本質(zhì)區(qū)別，其加工的表面質(zhì)量主要取決于電蝕凹坑的大小和，即單個放電脈沖的能量，而其加工精度則與電極損耗、伺服穩(wěn)定性等因素密切相關(guān)。
微細(xì)束加工包含電子束微細(xì)加工和離子束微細(xì)加工。電子束加工是在真空條件下，利用聚焦后的能量密度的電子束，以的速度沖擊到工件表面的面積上，在的時間(幾分之一微秒)內(nèi)，其能量的大部分轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮�，使被沖擊的工件材料達(dá)到幾千攝氏度以上的高溫，從而使材料的局部熔化和汽化，而實現(xiàn)加工的目的。電子束加工可用于打孔、切割、蝕刻、焊接、熱處理和曝光加工等。由于電子束能夠極微細(xì)的聚焦，甚至能聚焦到0.1μm，因此成為一種微細(xì)的加工方法。
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